Mikrokokoistetut leviämisvastus- ja nelipisteanturimittaukset puolijohderakenteen varauksenkuljettajien syvyysjakaumien määrittämisessä
Entistä pienemmät puolijohderakenteet vaativat analyysityökaluilta erittäin hyvää herkkyyttä, jonka on myös kehityttävä rakenteiden vaatimusten mukaisesti -- muussa tapauksessa kehitys voi hidastua hyvin paljon ilman kunnollista tietoa valmistusmenetelmien tuloksista. Yksi oleellinen osa rakenteide...
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Muut tekijät: | , , , , , |
| Aineistotyyppi: | Pro gradu |
| Kieli: | fin |
| Julkaistu: |
2013
|
| Aiheet: | |
| Linkit: | https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/42757 |