Mikrokokoistetut leviämisvastus- ja nelipisteanturimittaukset puolijohderakenteen varauksenkuljettajien syvyysjakaumien määrittämisessä
Entistä pienemmät puolijohderakenteet vaativat analyysityökaluilta erittäin hyvää herkkyyttä, jonka on myös kehityttävä rakenteiden vaatimusten mukaisesti -- muussa tapauksessa kehitys voi hidastua hyvin paljon ilman kunnollista tietoa valmistusmenetelmien tuloksista. Yksi oleellinen osa rakenteide...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , |
| Format: | Master's thesis |
| Language: | fin |
| Published: |
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/42757 |