Mikrokokoistetut leviämisvastus- ja nelipisteanturimittaukset puolijohderakenteen varauksenkuljettajien syvyysjakaumien määrittämisessä
Entistä pienemmät puolijohderakenteet vaativat analyysityökaluilta erittäin hyvää herkkyyttä, jonka on myös kehityttävä rakenteiden vaatimusten mukaisesti -- muussa tapauksessa kehitys voi hidastua hyvin paljon ilman kunnollista tietoa valmistusmenetelmien tuloksista. Yksi oleellinen osa rakenteide...
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | , , , , , |
Format: | Master's thesis |
Language: | fin |
Published: |
2013
|
Subjects: | |
Online Access: | https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/42757 |