Sputteroinnista ja sen sovellutuksesta hiukkaskiihdytinkohtioiden valmistukseen

Bibliographic Details
Main Author:	Tuukkanen, Sauli
Other Authors:	Fysiikan laitos, Jyväskylän yliopisto, University of Jyväskylä
Format:	Master's thesis
Language:	fin
Published:	1986
Subjects:	402
Online Access:	https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/98138

Internet

https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/98138