Fabrication of a suspended carbon nanotube nanomechanical device via e-beam lithography
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Muut tekijät: | , , |
| Aineistotyyppi: | Pro gradu |
| Kieli: | fin |
| Julkaistu: |
2008
|
| Aiheet: | |
| Linkit: | https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/97823 |