Kohtioiden valmistus sputteroimalla ja niiden perusominaisuudet

Bibliografiset tiedot
Päätekijä:	Nevala, Minna
Muut tekijät:	Fysiikan laitos, Jyväskylän yliopisto, University of Jyväskylä
Aineistotyyppi:	Pro gradu
Kieli:	fin
Julkaistu:	2003
Aiheet:	402
Linkit:	https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/97763

Internet

https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/97763