Kohtioiden valmistus sputteroimalla ja niiden perusominaisuudet

Bibliographic Details
Main Author:	Nevala, Minna
Other Authors:	Fysiikan laitos, Jyväskylän yliopisto, University of Jyväskylä
Format:	Master's thesis
Language:	fin
Published:	2003
Subjects:	402
Online Access:	https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/97763

Internet

https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/97763