| Yhteenveto: | Tässä työssä tutkin aiemmin vähän tutkittua menetelmää tutkia monikerroksisia ohutkalvoja. Menetelmä perustuu AFM:n avulla näytteestä mitattuun voimakäyrätietoon. Mittaukset koostuivat näytteiden valmistamisesta, sekä HIM:llä ja AFM:llä tapahtuneista kuvauksista.
Työssäni tulen osoittamaan, että ohutkalvoista on mahdollista erottaa eri materiaalikerroksia
menetelmän avulla. Menetelmässä on kuitenkin useita rajoituksia, jotka estävät menetelmän
käyttöönoton käytännön sovelluksissa.
In this work, I investigate a previously little studied method to study multilayer
thin films. The method is based on force curve data measured from a sample using AFM.
The measurements consisted of sample preparation, and imaging with HIM and AFM.
In my work, I will show that it is possible to distinguish different material layers in thin
films using this method. However, the method has several limitations that prevent its use in
practical applications.
|
|---|