Röntgenfluoresenssimittausten optimointi ohutkalvojen karakterisointiin
XRF-mittausten soveltuvuutta ja röntgenlähteen kiihdytysjännitteen sekä virran vaikutusta tutkittiin ohutkalvojen karakterisointiin. Käytössä oli 4 W röntgenlähde, jonka maksimi kiihdytysjännite oli 30 kV. Kuuden eripaksuisen (2, 5, 10, 20, 100, 300 nm) Al2O3-ohutkalvon XRF-spektrien Al-piikkien pin...
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Muut tekijät: | , , , , , |
| Aineistotyyppi: | Pro gradu |
| Kieli: | fin |
| Julkaistu: |
2022
|
| Aiheet: | |
| Linkit: | https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/83713 |