Atomikerroskasvatuksella kasvatetut oksidikalvot ja niiden siirto väliaikaiselta polymeerisubstraatilta kohdepinnalle
Atomikerroskasvatus eli ALD on edistyksellinen ohutkalvojen kasvatusmenetelmä, jonka periaatteellisena ideana on kasvattaa tasapaksu ohutkalvo alustalle eli substraatille nimensä mukaisesti atomikerros kerrallaan. Menetelmää käytetään laajasti mm. elektroniikan komponenttien valmistuksessa ja varsin...
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Muut tekijät: | , , , , , |
| Aineistotyyppi: | Pro gradu |
| Kieli: | fin |
| Julkaistu: |
2020
|
| Aiheet: | |
| Linkit: | https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/71288 |