Reverse tip sample scanning probe microscopy

Elektroniikan komponenttien laskentateho kasvaa jatkuvasti samalla kun niiden koko pienenee. Kaikista kehittyneimpien transistorien koko on nykypäivänä jo alle kymmenen nanometrin. Näiden transistorien rakenne on rajoittunut kolmeen ulottuvuuteen, jonka takia kaksiulotteisia karakterisointimenetelmi...

Täydet tiedot

Bibliografiset tiedot
Päätekijä: Kanniainen, Antti
Muut tekijät: Matemaattis-luonnontieteellinen tiedekunta, Faculty of Sciences, Fysiikan laitos, Department of Physics, Jyväskylän yliopisto, University of Jyväskylä
Aineistotyyppi: Pro gradu
Kieli:eng
Julkaistu: 2020
Aiheet:
Linkit: https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/70952