Reverse tip sample scanning probe microscopy

Elektroniikan komponenttien laskentateho kasvaa jatkuvasti samalla kun niiden koko pienenee. Kaikista kehittyneimpien transistorien koko on nykypäivänä jo alle kymmenen nanometrin. Näiden transistorien rakenne on rajoittunut kolmeen ulottuvuuteen, jonka takia kaksiulotteisia karakterisointimenetelmi...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Kanniainen, Antti
Other Authors: Matemaattis-luonnontieteellinen tiedekunta, Faculty of Sciences, Fysiikan laitos, Department of Physics, Jyväskylän yliopisto, University of Jyväskylä
Format: Master's thesis
Language:eng
Published: 2020
Subjects:
Online Access: https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/70952