Ohutkalvojen valmistuksesta kaasumaisten reagenssien avulla ja piinitridiohutkalvoista
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Master's thesis |
| Language: | fin |
| Published: |
Jyväskylä,
1996.
|
| Online Access: | https://jyu.finna.fi/Record/jykdok.609756 |
| Physical Description: | 68 lehteä |
|---|