Lithographic patterning by an atomic force microscope

Bibliographic Details
Main Author: Mäkelä, Tapio
Format: Licentiate thesis
Language:eng
Published: [Jyväskylä] : [1995]
Series:Laboratory report / Department of Physics, University of Jyväskylä, 1995, 3.
Online Access:https://jyu.finna.fi/Record/jykdok.570876

MARC

LEADER 00000cam a2200000ui 4500
001 570876
003 FI-J
005 20210226024837.0
008 970326s1995 fi ||||||m |||||||eng||
020 |a 951-34-0702-0  |q nidottu 
035 |a 570876 
041 0 |a eng 
080 |a 53 
100 1 |a Mäkelä, Tapio. 
245 1 0 |a Lithographic patterning by an atomic force microscope /  |c Tapio Mäkelä. 
260 |a [Jyväskylä] :  |b University of Jyväskylä,  |c [1995]  |g ([pain. 1996]) 
300 |a 70 lehteä :  |b kuvitettu ;  |c 30 cm 
336 |a teksti  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a käytettävissä ilman laitetta  |b n  |2 rdamedia 
338 |a nide  |b nc  |2 rdacarrier 
490 1 |a Laboratory report / Department of Physics, University of Jyväskylä,  |x 0357-9344 ;  |v 1995, 3 
509 |a Lisensiaatintyö :  |c Jyväskylän yliopisto, fysiikan laitos.  |9 4021. 
830 0 |a Laboratory report / Department of Physics, University of Jyväskylä,  |x 0357-9344 ;  |v 1995, 3. 
852 |a P  |c 0255917 
999 |c 570876  |d 570876 
952 |b KANAVUORI  |c 1210  |o P 0255917  |9 1