Sputteroinnin fysikaaliset perusteet
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Master's thesis |
| Language: | fin |
| Published: |
Jyväskylä :
Jyväskylän yliopisto
1983.
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://jyu.finna.fi/Record/jykdok.338929 |
| Physical Description: | 85 lehteä : kuvitettu |
|---|