Nanofabrication by atomic force microscopy, electron beam lithography and reactive ion etching

Bibliographic Details
Main Author: Lindell, Anssi, kirjoittaja
Format: Doctoral dissertation
Language:eng
Published: [Jyväskylä] : 2022.
Series:Research report / Department of Physics, University of Jyväskylä, 2000, 8.
Subjects:
Online Access:JYX-julkaisuarkisto / JYX Digital Archive

MARC

LEADER 00000cam a22000004i 4500
001 018720283
003 FI-MELINDA
005 20230425183946.0
007 cr || ||||||||
008 230207r20222000fi |||| om |0| 0|eng|c
020 |a 978-951-39-9461-7  |q PDF 
035 |a FCC018720283 
040 |a FI-J  |b fin  |e rda 
041 0 |a eng  |b eng 
080 |a 53  |2 1974/fin/fennica 
100 1 |a Lindell, Anssi,  |e kirjoittaja.  |0 (FI-ASTERI-N)000086438 
245 1 0 |a Nanofabrication by atomic force microscopy, electron beam lithography and reactive ion etching /  |c by Anssi Lindell. 
264 1 |a [Jyväskylä] :  |b Jyväskylän yliopisto,  |c 2022. 
300 |a 1 verkkoaineisto (98 sivua) :  |b kuvitettu 
336 |a teksti  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a tietokonekäyttöinen  |b c  |2 rdamedia 
338 |a verkkoaineisto  |b cr  |2 rdacarrier 
490 1 |a Research report / Department of Physics, University of Jyväskylä,  |x 0075-465X ;  |v no. 8/2000 
502 |a Väitöskirja :  |c Jyväskylän yliopisto,  |d 2000. 
506 0 |a Aineisto on vapaasti saatavissa.  |f Unrestricted online access  |2 star 
588 0 |a Kuvailun perustana verkkoaineisto; nimeke PDF-nimiösivulta (JYX, katsottu 7.2.2023). 
591 |i 114 
650 7 |a atomivoimamikroskopia  |2 yso/fin  |0 http://www.yso.fi/onto/yso/p38648 
650 7 |a mikroskopia  |2 yso/fin  |0 http://www.yso.fi/onto/yso/p16290 
650 7 |a mikrotekniikka  |2 yso/fin  |0 http://www.yso.fi/onto/yso/p11464 
650 7 |a nanotekniikka  |2 yso/fin  |0 http://www.yso.fi/onto/yso/p11463 
653 0 |a elektronisuihkulitografia 
653 0 |a tunneliliitokset 
655 7 |a väitöskirjat  |2 slm/fin  |0 http://urn.fi/URN:NBN:fi:au:slm:s1227 
655 7 |a e-kirjat  |2 slm/fin  |0 http://urn.fi/URN:NBN:fi:au:slm:s889 
776 0 8 |i Digitoitu manifestaatiosta:  |a Lindell, Anssi.  |t Nanofabrication by atomic force microscopy, electron beam lithography and reactive ion etching.  |d Jyväskylä : University of Jyväskylä, 2000.  |z 9513907708 
830 0 |a Research report / Department of Physics, University of Jyväskylä,  |x 0075-465X ;  |v 2000, 8. 
856 4 0 |u http://urn.fi/URN:ISBN:978-951-39-9461-7  |z JYX-julkaisuarkisto / JYX Digital Archive  |q PDF 
999 |c 2108899  |d 2108899