Nanofabrication by atomic force microscopy, electron beam lithography and reactive ion etching
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Väitöskirja |
| Kieli: | eng |
| Julkaistu: |
[Jyväskylä] :
2022.
|
| Sarja: | Research report / Department of Physics, University of Jyväskylä,
2000, 8. |
| Aiheet: | |
| Linkit: | JYX-julkaisuarkisto / JYX Digital Archive |
| Pääsy: | Aineisto on vapaasti saatavissa. |
|---|