Nanofabrication by atomic force microscopy, electron beam lithography and reactive ion etching

Bibliografiset tiedot
Päätekijä: Lindell, Anssi, kirjoittaja
Aineistotyyppi: Väitöskirja
Kieli:eng
Julkaistu: [Jyväskylä] : 2022.
Sarja:Research report / Department of Physics, University of Jyväskylä, 2000, 8.
Aiheet:
Linkit:JYX-julkaisuarkisto / JYX Digital Archive
Kuvaus
Pääsy:Aineisto on vapaasti saatavissa.