Lindell, A. (2022). Nanofabrication by atomic force microscopy, electron beam lithography and reactive ion etching.
Chicago-viite (17. p.)Lindell, Anssi. Nanofabrication by Atomic Force Microscopy, Electron Beam Lithography and Reactive Ion Etching. [Jyväskylä], 2022.
MLA-viite (9. p.)Lindell, Anssi. Nanofabrication by Atomic Force Microscopy, Electron Beam Lithography and Reactive Ion Etching. 2022.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.