Hydrogen incorporation in Al2O3 thin films grown by atomic layer deposition
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Väitöskirja |
| Kieli: | eng |
| Julkaistu: |
Jyväskylä :
2022.
|
| Sarja: | JYU dissertations,
558. |
| Aiheet: | |
| Linkit: | JYX-julkaisuarkisto / JYX Digital Archive Linkki verkkoaineistoon |
| Huomautukset: | Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa ja 3 eripainosta. |
|---|---|
| Pääsy: | Aineisto on vapaasti saatavissa. |