Hydrogen incorporation in Al2O3 thin films grown by atomic layer deposition
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Doctoral dissertation |
| Language: | eng |
| Published: |
Jyväskylä :
2022.
|
| Series: | JYU dissertations,
558. |
| Subjects: | |
| Online Access: | JYX-julkaisuarkisto / JYX Digital Archive Linkki verkkoaineistoon |
| Item Description: | Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa ja 3 eripainosta. |
|---|---|
| Access: | Aineisto on vapaasti saatavissa. |