Kinnunen, S. (2022). Hydrogen incorporation in Al2O3 thin films grown by atomic layer deposition.
Chicago-viite (17. p.)Kinnunen, Sami. Hydrogen Incorporation in Al2O3 Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition. Jyväskylä, 2022.
MLA-viite (9. p.)Kinnunen, Sami. Hydrogen Incorporation in Al2O3 Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition. 2022.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.