|
|
|
|
| LEADER |
00000cam a2200000 i 4500 |
| 001 |
1718907 |
| 003 |
FI-J |
| 005 |
20210227115359.0 |
| 007 |
cr || |||||||| |
| 008 |
170818s2017 fi |||| om |0| 0|eng|c |
| 020 |
|
|
|a 9789513970994
|q PDF
|
| 035 |
|
|
|a FCC011482194
|
| 040 |
|
|
|a FI-J
|b fin
|e rda
|d FI-NL
|
| 041 |
0 |
|
|a eng
|
| 080 |
1 |
|
|a 53
|2 1974/fin/fennica
|
| 100 |
1 |
|
|a Napari, Mari,
|e kirjoittaja.
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Low-temperature thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition of metal oxide thin films /
|c by Mari Napari.
|
| 264 |
|
1 |
|a Jyväskylä :
|b University of Jyväskylä,
|c 2017.
|
| 300 |
|
|
|a 1 verkkoaineisto (97 sivua)
|
| 336 |
|
|
|a teksti
|b txt
|2 rdacontent
|
| 337 |
|
|
|a tietokonekäyttöinen
|b c
|2 rdamedia
|
| 338 |
|
|
|a verkkoaineisto
|b cr
|2 rdacarrier
|
| 490 |
1 |
|
|a Research report / Department of Physics, University of Jyväskylä,
|x 0075-465X ;
|v no. 4/2017
|
| 500 |
|
|
|a Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa.
|
| 502 |
|
|
|a Väitöskirja :
|c Jyväskylän yliopisto, matemaattis-luonnontieteellinen tiedekunta, fysiikka,
|d 2017.
|
| 506 |
0 |
|
|a Aineisto on vapaasti saatavissa.
|f Unrestricted online access
|2 star
|
| 530 |
|
|
|a Julkaistu myös painettuna.
|
| 579 |
|
|
|a XLUETTELOITU
|
| 591 |
|
|
|i 114
|
| 591 |
|
|
|i 221
|
| 650 |
|
7 |
|a atomikerroskasvatus
|2 yso/fin
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p27468
|
| 650 |
|
7 |
|a ohutkalvot
|2 yso/fin
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p16644
|
| 650 |
|
7 |
|a plasmatekniikka
|2 yso/fin
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p8568
|
| 650 |
|
7 |
|a sinkkioksidi
|2 yso/fin
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p27694
|
| 650 |
|
7 |
|a polymeerit
|2 yso/fin
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p926
|
| 653 |
|
0 |
|a atomic layer deposition
|
| 653 |
|
0 |
|a plasma-enhanced atomic layer deposition
|
| 653 |
|
0 |
|a zinc oxide
|
| 653 |
|
0 |
|a polymers
|
| 776 |
0 |
8 |
|i Painettu:
|z 978-951-39-7098-7
|
| 830 |
|
0 |
|a Research report / Department of Physics, University of Jyväskylä,
|x 0075-465X ;
|v 2017, 4.
|
| 856 |
4 |
0 |
|u http://urn.fi/URN:ISBN:978-951-39-7099-4
|u URN:ISBN:978-951-39-7099-4
|z JYX julkaisuarkisto / JYX Digital Archive
|q PDF
|
| 999 |
|
|
|c 1718907
|d 1718907
|