Development of MeV ion beam lithography technique for microfluidic applications
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Väitöskirja |
| Kieli: | eng |
| Julkaistu: |
Jyväskylä :
2011.
|
| Sarja: | Research report / Department of Physics, University of Jyväskylä,
no. 3/2011. |
| Aiheet: | |
| Linkit: | https://jyu.finna.fi/Record/jykdok.1159130 |
Search Result 1
Development of MeV ion beam lithography technique for microfluidic applications
Julkaistu 2011
Hae kokoteksti
Väitöskirja