|
|
|
|
LEADER |
00000cam a22000004i 4500 |
001 |
1159130 |
003 |
FI-J |
005 |
20210226200847.0 |
008 |
110520s2011 fi |||| m |00| 0|eng|c |
015 |
|
|
|a fx975336
|2 skl
|
020 |
|
|
|a 978-951-39-4266-3
|q nidottu
|
035 |
|
|
|a FCC005909837
|
035 |
|
|
|a 1159130
|
041 |
0 |
|
|a eng
|b tha
|
100 |
1 |
|
|a Puttaraksa, Nitipon.
|
245 |
1 |
0 |
|a Development of MeV ion beam lithography technique for microfluidic applications /
|c by Nitipon Puttaraksa.
|
260 |
|
|
|a Jyväskylä :
|b [University of Jyväskylä],
|c 2011.
|
300 |
|
|
|a xii, 65, [56] sivua :
|b kuvitettu ;
|c 25 cm
|
336 |
|
|
|a teksti
|b txt
|2 rdacontent
|
337 |
|
|
|a käytettävissä ilman laitetta
|b n
|2 rdamedia
|
338 |
|
|
|a nide
|b nc
|2 rdacarrier
|
490 |
1 |
|
|a Research report / Department of Physics, University of Jyväskylä,
|x 0075-465X ;
|v no. 3/2011
|
500 |
|
|
|a Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa ja 8 eripainosta.
|
502 |
|
|
|a Väitöskirja :
|c Jyväskylän yliopisto, matemaattis-luonnontieteellinen tiedekunta, fysiikka.
|
530 |
|
|
|a Julkaistu myös verkkoaineistona (ISBN 978-951-39-4267-0).
|
579 |
|
|
|a XLUETTELOITU
|
591 |
|
|
|i 114
|
650 |
|
7 |
|a ionit
|2 yso/fin
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p9015
|
653 |
|
0 |
|a ionisuihkulitografia
|
830 |
|
0 |
|a Research report / Department of Physics, University of Jyväskylä,
|x 0075-465X ;
|v no. 3/2011.
|
852 |
|
|
|a P
|c 0237314
|
999 |
|
|
|c 1159130
|d 1159130
|
952 |
|
|
|b KANAVUORI
|c 1210
|o P 0237314
|9 1
|