MeV ion beam lithography of high aspect ratio structures with a focused or aperture-shaped beam for applications in biomedical studies and microfluidics
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Väitöskirja |
| Kieli: | eng |
| Julkaistu: |
Jyväskylä :
2008.
|
| Sarja: | Research report / Department of Physics, University of Jyväskylä,
9/2008. |
| Aiheet: | |
| Linkit: | https://jyu.finna.fi/Record/jykdok.1069235 |
Search Result 1