-
1
Low-temperature thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition of metal oxide thin films
Julkaistu 2017Aiheet: JYX julkaisuarkisto / JYX Digital Archive
Väitöskirja -
2
Low-temperature thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition of metal oxide thin films
Julkaistu 2017Aiheet: Yhteenveto-osa
Väitöskirja