Mikrometrikokoluokan SINIS-liitosten valmistus mekaanisella piinitridimaskilla ja kulmahörystyksellä
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , , |
| Format: | Master's thesis |
| Language: | fin |
| Published: |
2005
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/98091 |
| Summary: |
|---|