Sputteroinnin fysikaaliset perusteet

Bibliographic Details
Main Author:	Luoma, Tapani
Other Authors:	Fysiikan laitos, University of Jyväskylä, Jyväskylän yliopisto
Format:	Master's thesis
Language:	fin
Published:	1983
Subjects:	hiukkasfysiikka
Online Access:	https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/89739

Internet

https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/89739