Röntgenfluoresenssimittausten optimointi ohutkalvojen karakterisointiin

Bibliographic Details
Main Author: Kääriäinen, Jussi
Other Authors: Matemaattis-luonnontieteellinen tiedekunta, Faculty of Sciences, Fysiikan laitos, Department of Physics, Jyväskylän yliopisto, University of Jyväskylä, Fysiikka, Physics, 4021
Format: Master's thesis
Language:fin
Published: 2022
Subjects:
Online Access: https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/83713
_version_ 1799744825126289408
annif_keywords_txtF_mv ohutkalvot fysiikka röntgenkuvaus optimointi kemia
annif_uris_txtF_mv http://www.yso.fi/onto/yso/p16644 http://www.yso.fi/onto/yso/p900 http://www.yso.fi/onto/yso/p10181 http://www.yso.fi/onto/yso/p13477 http://www.yso.fi/onto/yso/p1801
author Kääriäinen, Jussi
author2 Matemaattis-luonnontieteellinen tiedekunta Faculty of Sciences Fysiikan laitos Department of Physics Jyväskylän yliopisto University of Jyväskylä Fysiikka Physics 4021
author_facet Kääriäinen, Jussi Matemaattis-luonnontieteellinen tiedekunta Faculty of Sciences Fysiikan laitos Department of Physics Jyväskylän yliopisto University of Jyväskylä Fysiikka Physics 4021 Kääriäinen, Jussi
author_sort Kääriäinen, Jussi
building Jyväskylän yliopisto JYX-julkaisuarkisto
datasource_str_mv jyx
department_txtF Fysiikan laitos
faculty_txtF Matemaattis-luonnontieteellinen tiedekunta
first_indexed 2022-10-27T20:00:30Z
format Pro gradu
format_ext_str_mv Opinnäyte Maisterivaiheen työ
free_online_boolean 1
fullrecord <?xml version="1.0"?> <qualifieddc schemaLocation="http://purl.org/dc/terms/ http://dublincore.org/schemas/xmls/qdc/2006/01/06/dcterms.xsd http://purl.org/dc/elements/1.1/ http://dublincore.org/schemas/xmls/qdc/2006/01/06/dc.xsd"><title>R&#xF6;ntgenfluoresenssimittausten optimointi ohutkalvojen karakterisointiin</title><creator>K&#xE4;&#xE4;ri&#xE4;inen, Jussi</creator><contributor type="tiedekunta" lang="fi">Matemaattis-luonnontieteellinen tiedekunta</contributor><contributor type="tiedekunta" lang="en">Faculty of Sciences</contributor><contributor type="laitos" lang="fi">Fysiikan laitos</contributor><contributor type="laitos" lang="en">Department of Physics</contributor><contributor type="yliopisto" lang="fi">Jyv&#xE4;skyl&#xE4;n yliopisto</contributor><contributor type="yliopisto" lang="en">University of Jyv&#xE4;skyl&#xE4;</contributor><contributor type="oppiaine" lang="fi">Fysiikka</contributor><contributor type="oppiaine" lang="en">Physics</contributor><contributor type="oppiainekoodi">4021</contributor><subject type="other">r&#xF6;ntgenfluoresenssi</subject><subject type="other">XRF</subject><subject type="other">ALD</subject><subject type="other">nanolaminaatti</subject><subject type="yso">ohutkalvot</subject><subject type="yso">atomikerroskasvatus</subject><available>2022-10-27T05:16:54Z</available><issued>2022</issued><type lang="en">Master&#x2019;s thesis</type><type lang="fi">Pro gradu -tutkielma</type><identifier type="uri">https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/83713</identifier><identifier type="urn">URN:NBN:fi:jyu-202210275022</identifier><language type="iso">fi</language><rights type="copyright" lang="fi">Julkaisu on tekij&#xE4;noikeuss&#xE4;&#xE4;nn&#xF6;sten alainen. Teosta voi lukea ja tulostaa henkil&#xF6;kohtaista k&#xE4;ytt&#xF6;&#xE4; varten. K&#xE4;ytt&#xF6; kaupallisiin tarkoituksiin on kielletty.</rights><rights type="copyright" lang="en">This publication is copyrighted. You may download, display and print it for Your own personal use. Commercial use is prohibited.</rights><permaddress type="urn">http://www.urn.fi/URN:NBN:fi:jyu-202210275022</permaddress><file bundle="ORIGINAL" href="https://jyx.jyu.fi/bitstream/123456789/83713/1/URN%3aNBN%3afi%3ajyu-202210275022.pdf" name="URN:NBN:fi:jyu-202210275022.pdf" type="application/pdf" length="2549488" sequence="1"/><recordID>123456789_83713</recordID></qualifieddc>
id jyx.123456789_83713
language fin
last_indexed 2024-05-13T20:04:02Z
main_date 2022-01-01T00:00:00Z
main_date_str 2022
online_boolean 1
online_urls_str_mv {"url":"https:\/\/jyx.jyu.fi\/bitstream\/123456789\/83713\/1\/URN%3aNBN%3afi%3ajyu-202210275022.pdf","text":"URN:NBN:fi:jyu-202210275022.pdf","source":"jyx","mediaType":"application\/pdf"}
oppiainekoodi_txtF 4021
publication_first_indexed 2022-10-27T20:00:30Z
publishDate 2022
record_format qdc
source_str_mv jyx
spellingShingle Kääriäinen, Jussi Röntgenfluoresenssimittausten optimointi ohutkalvojen karakterisointiin röntgenfluoresenssi XRF ALD nanolaminaatti ohutkalvot atomikerroskasvatus
subject_txtF Fysiikka
thumbnail https://jyu.finna.fi/Cover/Show?source=Solr&id=jyx.123456789_83713&index=0&size=large
title Röntgenfluoresenssimittausten optimointi ohutkalvojen karakterisointiin
title_full Röntgenfluoresenssimittausten optimointi ohutkalvojen karakterisointiin
title_fullStr Röntgenfluoresenssimittausten optimointi ohutkalvojen karakterisointiin Röntgenfluoresenssimittausten optimointi ohutkalvojen karakterisointiin
title_full_unstemmed Röntgenfluoresenssimittausten optimointi ohutkalvojen karakterisointiin Röntgenfluoresenssimittausten optimointi ohutkalvojen karakterisointiin
title_short Röntgenfluoresenssimittausten optimointi ohutkalvojen karakterisointiin
title_sort röntgenfluoresenssimittausten optimointi ohutkalvojen karakterisointiin
title_txtP Röntgenfluoresenssimittausten optimointi ohutkalvojen karakterisointiin
topic röntgenfluoresenssi XRF ALD nanolaminaatti ohutkalvot atomikerroskasvatus
topic_facet ALD XRF atomikerroskasvatus nanolaminaatti ohutkalvot röntgenfluoresenssi
url https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/83713 http://www.urn.fi/URN:NBN:fi:jyu-202210275022
work_keys_str_mv AT kääriäinenjussi röntgenfluoresenssimittaustenoptimointiohutkalvojenkarakterisointiin