FIB-tekniikoiden sovellukset
Ionimikroskopia (FIB) on pyyhkäisyelektronimikroskopiaa muistuttava nanoskaalan kuvantamis- ja työstämismenetelmä, joka käytää kevyiden elektronien sijasta massiivisia ioneja. Käsittelen tässä tutkielmassa FIB-laitteistojen kehityskaaren ensimmäisen sukupolven Ga-FIB:stä, toisen sukupolven FIB/SEM-h...
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Muut tekijät: | , , , , , |
| Aineistotyyppi: | Kandityö |
| Kieli: | fin |
| Julkaistu: |
2019
|
| Aiheet: | |
| Linkit: | https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/79112 |