FIB-tekniikoiden sovellukset
Ionimikroskopia (FIB) on pyyhkäisyelektronimikroskopiaa muistuttava nanoskaalan kuvantamis- ja työstämismenetelmä, joka käytää kevyiden elektronien sijasta massiivisia ioneja. Käsittelen tässä tutkielmassa FIB-laitteistojen kehityskaaren ensimmäisen sukupolven Ga-FIB:stä, toisen sukupolven FIB/SEM-h...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , |
| Format: | Bachelor's thesis |
| Language: | fin |
| Published: |
2019
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/79112 |