FIB-tekniikoiden sovellukset - Lankinen, Aaro (2019)
Ionimikroskopia (FIB) on pyyhkäisyelektronimikroskopiaa muistuttava nanoskaalan kuvantamis- ja työstämismenetelmä, joka käytää kevyiden elektronien sijasta massiivisia ioneja. Käsittelen tässä tutkielmassa FIB-laitteistojen kehityskaaren ensimmäisen sukupolven Ga-FIB:stä, toisen sukupolven FIB/SEM-hybridiin ja kolmannen sukupolven selektiiviseen ionilähteeseen. Lisäksi tarkastelen FIB:n moninaisia sovelluksia laboratorio- ja teollisuusympäristössä, nyt ja tulevaisuudessa. Tämä tutkielma on kirjallisuuskatsaus ja se on tarkoitettu avuksi syvemmän tutkimuksen valmisteluun aiheesta kiinnostuneille.