Atomikerroskasvatuksella kasvatetut oksidikalvot ja niiden siirto väliaikaiselta polymeerisubstraatilta kohdepinnalle

Bibliographic Details
Main Author: Manninen, Emmi
Other Authors: Matemaattis-luonnontieteellinen tiedekunta, Faculty of Sciences, Fysiikan laitos, Department of Physics, Jyväskylän yliopisto, University of Jyväskylä, Fysiikka, Physics, 4021
Format: Master's thesis
Language:fin
Published: 2020
Subjects:
Online Access: https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/71288
_version_ 1809901244082290688
annif_keywords_txtF_mv atomikerroskasvatus työstö atomit spektroskopia sovellukset (soveltaminen)
annif_uris_txtF_mv http://www.yso.fi/onto/yso/p27468 http://www.yso.fi/onto/yso/p1542 http://www.yso.fi/onto/yso/p2985 http://www.yso.fi/onto/yso/p10176 http://www.yso.fi/onto/yso/p28185
author Manninen, Emmi
author2 Matemaattis-luonnontieteellinen tiedekunta Faculty of Sciences Fysiikan laitos Department of Physics Jyväskylän yliopisto University of Jyväskylä Fysiikka Physics 4021
author_facet Manninen, Emmi Matemaattis-luonnontieteellinen tiedekunta Faculty of Sciences Fysiikan laitos Department of Physics Jyväskylän yliopisto University of Jyväskylä Fysiikka Physics 4021 Manninen, Emmi
author_sort Manninen, Emmi
building Jyväskylän yliopisto JYX-julkaisuarkisto
datasource_str_mv jyx
department_txtF Fysiikan laitos
faculty_txtF Matemaattis-luonnontieteellinen tiedekunta
first_indexed 2020-07-30T20:00:32Z
format Pro gradu
format_ext_str_mv Opinnäyte Pro gradu
free_online_boolean 1
fullrecord <?xml version="1.0"?> <qualifieddc schemaLocation="http://purl.org/dc/terms/ http://dublincore.org/schemas/xmls/qdc/2006/01/06/dcterms.xsd http://purl.org/dc/elements/1.1/ http://dublincore.org/schemas/xmls/qdc/2006/01/06/dc.xsd"><title>Atomikerroskasvatuksella kasvatetut oksidikalvot ja niiden siirto v&#xE4;liaikaiselta polymeerisubstraatilta kohdepinnalle</title><creator>Manninen, Emmi</creator><contributor type="tiedekunta" lang="fi">Matemaattis-luonnontieteellinen tiedekunta</contributor><contributor type="tiedekunta" lang="en">Faculty of Sciences</contributor><contributor type="laitos" lang="fi">Fysiikan laitos</contributor><contributor type="laitos" lang="en">Department of Physics</contributor><contributor type="yliopisto" lang="fi">Jyv&#xE4;skyl&#xE4;n yliopisto</contributor><contributor type="yliopisto" lang="en">University of Jyv&#xE4;skyl&#xE4;</contributor><contributor type="oppiaine" lang="fi">Fysiikka</contributor><contributor type="oppiaine" lang="en">Physics</contributor><contributor type="oppiainekoodi">4021</contributor><subject type="other">siirtopinta</subject><subject type="other">ionisuihkumenetelm&#xE4;t</subject><subject type="other">ToF-ERDA</subject><subject type="other">kohdepinta</subject><subject type="yso">polymeerit</subject><subject type="yso">ohutkalvot</subject><subject type="yso">atomikerroskasvatus</subject><available>2020-07-30T07:43:43Z</available><issued>2020</issued><type lang="fi">Pro gradu -tutkielma</type><type lang="en">Master&#x2019;s thesis</type><identifier type="uri">https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/71288</identifier><identifier type="urn">URN:NBN:fi:jyu-202007305436</identifier><language type="iso">fi</language><rights type="copyright" lang="fi">Julkaisu on tekij&#xE4;noikeuss&#xE4;&#xE4;nn&#xF6;sten alainen. Teosta voi lukea ja tulostaa henkil&#xF6;kohtaista k&#xE4;ytt&#xF6;&#xE4; varten. K&#xE4;ytt&#xF6; kaupallisiin tarkoituksiin on kielletty.</rights><rights type="copyright" lang="en">This publication is copyrighted. You may download, display and print it for Your own personal use. Commercial use is prohibited.</rights><permaddress type="urn">http://www.urn.fi/URN:NBN:fi:jyu-202007305436</permaddress><file bundle="ORIGINAL" href="https://jyx.jyu.fi/bitstream/123456789/71288/1/URN%3aNBN%3afi%3ajyu-202007305436.pdf" name="URN:NBN:fi:jyu-202007305436.pdf" type="application/pdf" length="19349761" sequence="1"/><recordID>123456789_71288</recordID></qualifieddc>
id jyx.123456789_71288
language fin
last_indexed 2024-09-03T10:53:06Z
main_date 2020-01-01T00:00:00Z
main_date_str 2020
online_boolean 1
online_urls_str_mv {"url":"https:\/\/jyx.jyu.fi\/bitstream\/123456789\/71288\/1\/URN%3aNBN%3afi%3ajyu-202007305436.pdf","text":"URN:NBN:fi:jyu-202007305436.pdf","source":"jyx","mediaType":"application\/pdf"}
oppiainekoodi_txtF 4021
publication_first_indexed 2020-07-30T20:00:32Z
publishDate 2020
record_format qdc
source_str_mv jyx
spellingShingle Manninen, Emmi Atomikerroskasvatuksella kasvatetut oksidikalvot ja niiden siirto väliaikaiselta polymeerisubstraatilta kohdepinnalle siirtopinta ionisuihkumenetelmät ToF-ERDA kohdepinta polymeerit ohutkalvot atomikerroskasvatus
subject_txtF Fysiikka
thumbnail https://jyu.finna.fi/Cover/Show?source=Solr&id=jyx.123456789_71288&index=0&size=large
title Atomikerroskasvatuksella kasvatetut oksidikalvot ja niiden siirto väliaikaiselta polymeerisubstraatilta kohdepinnalle
title_full Atomikerroskasvatuksella kasvatetut oksidikalvot ja niiden siirto väliaikaiselta polymeerisubstraatilta kohdepinnalle
title_fullStr Atomikerroskasvatuksella kasvatetut oksidikalvot ja niiden siirto väliaikaiselta polymeerisubstraatilta kohdepinnalle Atomikerroskasvatuksella kasvatetut oksidikalvot ja niiden siirto väliaikaiselta polymeerisubstraatilta kohdepinnalle
title_full_unstemmed Atomikerroskasvatuksella kasvatetut oksidikalvot ja niiden siirto väliaikaiselta polymeerisubstraatilta kohdepinnalle Atomikerroskasvatuksella kasvatetut oksidikalvot ja niiden siirto väliaikaiselta polymeerisubstraatilta kohdepinnalle
title_short Atomikerroskasvatuksella kasvatetut oksidikalvot ja niiden siirto väliaikaiselta polymeerisubstraatilta kohdepinnalle
title_sort atomikerroskasvatuksella kasvatetut oksidikalvot ja niiden siirto väliaikaiselta polymeerisubstraatilta kohdepinnalle
title_txtP Atomikerroskasvatuksella kasvatetut oksidikalvot ja niiden siirto väliaikaiselta polymeerisubstraatilta kohdepinnalle
topic siirtopinta ionisuihkumenetelmät ToF-ERDA kohdepinta polymeerit ohutkalvot atomikerroskasvatus
topic_facet ToF-ERDA atomikerroskasvatus ionisuihkumenetelmät kohdepinta ohutkalvot polymeerit siirtopinta
url https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/71288 http://www.urn.fi/URN:NBN:fi:jyu-202007305436
work_keys_str_mv AT manninenemmi atomikerroskasvatuksellakasvatetutoksidikalvotjaniidensiirtoväliaikaiseltapolymeeri