Mikrometrikokoluokan SINIS-liitosten valmistus mekaanisella piinitridimaskilla ja kulmahörystyksellä
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Master's thesis |
| Language: | fin |
| Published: |
Jyväskylä,
2005.
|
| Online Access: | https://jyu.finna.fi/Record/jykdok.983174 |
| Physical Description: | 42 lehteä : kuvitettu |
|---|