Metalli-ionisuihkujen tuottaminen ECR-ionilähteellä sputterointimenetelmän avulla

Bibliographic Details
Main Author: Lammentausta, Eveliina
Format: Master's thesis
Language:fin
Published: Jyväskylä, 2004.
Online Access:https://jyu.finna.fi/Record/jykdok.919643

MARC

LEADER 00000cam a22000004i 4500
001 919643
003 FI-J
005 20210226115226.0
008 040119s2004 fi ||||||m |000|||fin||
035 |a 919643 
041 0 |a fin 
100 1 |a Lammentausta, Eveliina. 
245 1 0 |a Metalli-ionisuihkujen tuottaminen ECR-ionilähteellä sputterointimenetelmän avulla /  |c Eveliina Lammentausta. 
260 |a Jyväskylä,  |c 2004. 
300 |a lehteä :  |b kuvitettu +  |e liitelehteä. 
336 |a teksti  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a käytettävissä ilman laitetta  |b n  |2 rdamedia 
338 |a nide  |b nc  |2 rdacarrier 
509 |a Pro gradu -työ :  |c Jyväskylän yliopisto, fysiikan laitos.  |9 402. 
579 |a XLUETTELOITU 
999 |c 919643  |d 919643 
952 |b KANAVUORI  |c 812  |o KV FYS Gradu Lammentausta Eveliina  |9 1