Metalli-ionisuihkujen tuottaminen ECR-ionilähteellä sputterointimenetelmän avulla
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Master's thesis |
| Language: | fin |
| Published: |
Jyväskylä,
2004.
|
| Online Access: | https://jyu.finna.fi/Record/jykdok.919643 |
| Physical Description: | lehteä : kuvitettu + liitelehteä |
|---|