Mikromekaanisten palkkien käyttö bioantureina lämpötila- ja massamittauksissa

Bibliographic Details
Main Author:	Tarkiainen, Esa
Format:	Master's thesis
Language:	fin
Published:	Jyväskylä, 2003.
Subjects:	mikroelektroniikka mikromekaniikka puolijohdetekniikka anturit
Online Access:	https://jyu.finna.fi/Record/jykdok.919036

Mikromekaanisten palkkien käyttö bioantureina lämpötila- ja massamittauksissa by Tarkiainen, Esa

Published 2005

Master's thesis