|
|
|
|
| LEADER |
00000cam a2200000 i 4500 |
| 001 |
842833 |
| 003 |
FI-J |
| 005 |
20230425183344.0 |
| 008 |
000816s2000 fi ||||||m |||||||eng| |
| 015 |
|
|
|a fx660877
|2 skl
|
| 020 |
|
|
|a 951-39-0770-8
|q nidottu
|
| 035 |
|
|
|a FCC000223079
|
| 040 |
|
|
|a FI-NL
|b fin
|
| 041 |
0 |
|
|a eng
|b eng
|
| 080 |
|
|
|a 53
|
| 100 |
1 |
|
|a Lindell, Anssi,
|e kirjoittaja.
|0 (FI-ASTERI-N)000086438
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Nanofabrication by atomic force microscopy, electron beam lithography and reactive ion etching /
|c by Anssi Lindell.
|
| 260 |
|
|
|a Jyväskylä :
|b University of Jyväskylä,
|c 2000
|f ([Kopijyvä])
|
| 300 |
|
|
|a 98, [1] s. :
|b kuvitettu ;
|c 25 cm
|
| 336 |
|
|
|a teksti
|b txt
|2 rdacontent
|
| 337 |
|
|
|a käytettävissä ilman laitetta
|b n
|2 rdamedia
|
| 338 |
|
|
|a nide
|b nc
|2 rdacarrier
|
| 490 |
1 |
|
|a Research report / Department of Physics, University of Jyväskylä,
|x 0075-465X ;
|v no. 8/2000
|
| 502 |
|
|
|a Väitöskirja :
|c Jyväskylän yliopisto,
|d 2000.
|
| 591 |
|
|
|i 114
|
| 650 |
|
7 |
|a mikroskopia
|2 yso/fin
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p16290
|
| 650 |
|
7 |
|a nanotekniikka
|2 yso/fin
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p11463
|
| 650 |
|
7 |
|a atomivoimamikroskopia
|2 yso/fin
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p38648
|
| 650 |
|
7 |
|a mikrotekniikka
|2 yso/fin
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p11464
|
| 653 |
|
0 |
|a elektronisuihkulitografia
|
| 653 |
|
0 |
|a tunneliliitokset
|
| 655 |
|
7 |
|a väitöskirjat
|2 slm/fin
|0 http://urn.fi/URN:NBN:fi:au:slm:s1227
|
| 776 |
0 |
8 |
|i Digitoitu julkaisu:
|a Lindell, Anssi.
|t Nanofabrication by atomic force microscopy, electron beam lithography and reactive ion etching.
|d [Jyväskylä] : Jyväskylän yliopisto, 2022.
|z 9789513994617
|
| 830 |
|
0 |
|a Research report / Department of Physics, University of Jyväskylä,
|x 0075-465X ;
|v 2000, 8.
|
| 852 |
|
|
|a FI-P
|c 0034730
|
| 856 |
4 |
1 |
|u http://urn.fi/URN:ISBN:978-951-39-9461-7
|z JYX-julkaisuarkisto / JYX Digital Archive
|q PDF
|
| 999 |
|
|
|c 842833
|d 842833
|
| 952 |
|
|
|b KANAVUORI
|c 1210
|o P 0034730
|9 1
|