|
|
|
|
| LEADER |
00000cam a2200000 i 4500 |
| 001 |
1810569 |
| 003 |
FI-J |
| 005 |
20210227143849.0 |
| 008 |
180115s2017 fi |||| m |0| 0|eng|c |
| 020 |
|
|
|a 978-951-39-7098-7
|q nidottu
|
| 035 |
|
|
|a FCC012059331
|
| 035 |
|
|
|a 1810569
|
| 040 |
|
|
|a FI-J
|b fin
|e rda
|d FI-NL
|
| 041 |
0 |
|
|a eng
|b fin
|
| 080 |
1 |
|
|a 53
|2 1974/fin/fennica
|
| 100 |
1 |
|
|a Napari, Mari,
|e kirjoittaja.
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Low-temperature thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition of metal oxide thin films /
|c by Mari Napari.
|
| 264 |
|
1 |
|a Jyväskylä :
|b University of Jyväskylä,
|c 2017.
|
| 264 |
|
3 |
|a [Jyväskylä] :
|b Jyväskylän yliopistopaino
|
| 300 |
|
|
|a 97 sivua, 44 sivua useina numerointijaksoina :
|b kuvitettu ;
|c 25 cm
|
| 336 |
|
|
|a teksti
|b txt
|2 rdacontent
|
| 337 |
|
|
|a käytettävissä ilman laitetta
|b n
|2 rdamedia
|
| 338 |
|
|
|a nide
|b nc
|2 rdacarrier
|
| 490 |
1 |
|
|a Research report / Department of Physics, University of Jyväskylä,
|x 0075-465X ;
|v no. 4/2017
|
| 500 |
|
|
|a Nimiösivulla myös: Academic Dissertation for the Degree of Doctor of Philosophy.
|
| 500 |
|
|
|a Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa ja 3 eripainosta.
|
| 502 |
|
|
|a Väitöskirja :
|c Jyväskylän yliopisto, matemaattis-luonnontieteellinen tiedekunta, fysiikka,
|d 2017.
|
| 530 |
|
|
|a Yhteenveto-osa julkaistu myös verkkoaineistona.
|
| 591 |
|
|
|i 114
|
| 591 |
|
|
|i 221
|
| 650 |
|
7 |
|a atomikerroskasvatus
|2 yso/fin
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p27468
|
| 650 |
|
7 |
|a ohutkalvot
|2 yso/fin
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p16644
|
| 650 |
|
7 |
|a plasmatekniikka
|2 yso/fin
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p8568
|
| 650 |
|
7 |
|a sinkkioksidi
|2 yso/fin
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p27694
|
| 650 |
|
7 |
|a polymeerit
|2 yso/fin
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p926
|
| 650 |
|
7 |
|a atomlagerdeposition
|2 yso/swe
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p27468
|
| 650 |
|
7 |
|a tunnfilm
|2 yso/swe
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p16644
|
| 650 |
|
7 |
|a plasmateknik
|2 yso/swe
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p8568
|
| 650 |
|
7 |
|a zinkoxid
|2 yso/swe
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p27694
|
| 650 |
|
7 |
|a polymerer
|2 yso/swe
|0 http://www.yso.fi/onto/yso/p926
|
| 653 |
|
0 |
|a atomic layer deposition
|
| 653 |
|
0 |
|a plasma-enhanced atomic layer deposition
|
| 653 |
|
0 |
|a zinc oxide
|
| 653 |
|
0 |
|a polymers
|
| 710 |
2 |
|
|a Jyväskylän yliopisto.
|b Fysiikan laitos.
|0 (FI-ASTERI-N)000001475
|
| 776 |
0 |
8 |
|i Verkkoaineisto (yhteenveto-osa, PDF):
|z 978-951-39-7099-4
|
| 830 |
|
0 |
|a Research report / Department of Physics, University of Jyväskylä,
|x 0075-465X ;
|v 2017, 4.
|
| 852 |
|
|
|a P
|c 0307326
|
| 856 |
4 |
1 |
|3 Yhteenveto-osa
|u http://urn.fi/URN:ISBN:978-951-39-7099-4
|
| 999 |
|
|
|c 1810569
|d 1810569
|
| 952 |
|
|
|b KANAVUORI
|c 1210
|o P 0307326
|9 1
|