Napari, M. (2017). Low-temperature thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition of metal oxide thin films.
Chicago-viite (17. p.)Napari, Mari. Low-temperature Thermal and Plasma-enhanced Atomic Layer Deposition of Metal Oxide Thin Films. Jyväskylä, 2017.
MLA-viite (9. p.)Napari, Mari. Low-temperature Thermal and Plasma-enhanced Atomic Layer Deposition of Metal Oxide Thin Films. 2017.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.