Ionisuihkuanalyysien soveltuvuus Fabryn ja Perot ́n interferometrin ohutkalvojen karakterisointiin

Bibliographic Details
Main Author: Parttimaa, Jarno
Format: Master's thesis
Language:fin
Published: Jyväskylä, 2014.
Subjects:
Online Access:https://jyu.finna.fi/Record/jykdok.1444191

MARC

LEADER 00000cam a22000004i 4500
001 1444191
003 FI-J
005 20210227050148.0
008 140814s2014 fi m 000 0 fin c
035 |a FCC006829456 
035 |a 1444191 
041 0 |a fin 
100 1 |a Parttimaa, Jarno. 
245 1 0 |a Ionisuihkuanalyysien soveltuvuus Fabryn ja Perot ́n interferometrin ohutkalvojen karakterisointiin /  |c Jarno Parttimaa. 
260 |a Jyväskylä,  |c 2014. 
300 |a 43 lehteä. 
336 |a teksti  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a käytettävissä ilman laitetta  |b n  |2 rdamedia 
338 |a nide  |b nc  |2 rdacarrier 
509 |a Pro gradu -työ :  |c Jyväskylän yliopisto, fysiikan laitos.  |9 402. 
579 |a XLUETTELOITU 
650 7 |a ohutkalvot  |2 yso/fin  |0 http://www.yso.fi/onto/yso/p16644 
650 7 |a alkuaineet  |2 yso/fin  |0 http://www.yso.fi/onto/yso/p4407 
650 7 |a analyysimenetelmät  |2 yso/fin  |0 http://www.yso.fi/onto/yso/p6085 
650 7 |a lämpökäsittely  |2 yso/fin  |0 http://www.yso.fi/onto/yso/p5092 
650 7 |a karakterisointi 
999 |c 1444191  |d 1444191 
952 |b KANAVUORI  |c 812  |o KV FYS Gradu Parttimaa Jarno  |9 1